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氮化铝薄膜产品介绍

氮化铝薄膜产品介绍1 概述★ 单层薄膜基板采用Ti/Pt/Au体系,表面可预制 金锡和薄膜电阻,产品类型覆盖空心孔、侧面图 形金属化、…

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氮化铝薄膜产品介绍

1 概述

★ 单层薄膜基板采用Ti/Pt/Au体系,表面可预制 金锡和薄膜电阻,产品类型覆盖空心孔、侧面图 形金属化、异形结构等。

★ 多层薄膜基板可实现多层布线,具有三维互联 关系,内层电路和实心孔采用厚膜工艺,表层电 路采用薄膜工艺实现精密布线。

工艺流程---LIFT OFF


陶瓷材料


设计规则


产线情况


2 产品&能力

单层薄膜-Au

单层薄膜-AuSn


单层薄膜-TaN


单层薄膜-其他


多层薄膜


多层薄膜


异形加工


3 品质


测试设备


过程控制


过程控制


Au


AuSn


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