氮化铝薄膜产品介绍
1 概述
★ 单层薄膜基板采用Ti/Pt/Au体系,表面可预制 金锡和薄膜电阻,产品类型覆盖空心孔、侧面图 形金属化、异形结构等。
★ 多层薄膜基板可实现多层布线,具有三维互联 关系,内层电路和实心孔采用厚膜工艺,表层电 路采用薄膜工艺实现精密布线。
工艺流程---LIFT OFF

陶瓷材料

设计规则

产线情况

2 产品&能力
单层薄膜-Au
单层薄膜-AuSn

单层薄膜-TaN

单层薄膜-其他

多层薄膜


多层薄膜

异形加工

3 品质

测试设备

过程控制

过程控制

Au

AuSn

储存&使用

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